如何判斷均流膜高效送風口的均流性能是否達標？

判斷均流膜高效送風口的均流性能是否達標，需要結合氣流分布均勻性、風速穩定性、潔淨度維持能力等核心指標，通過專(zhuan) 業(ye) 檢測與(yu) 實際運行觀察相結合的方式進行。以下是具體(ti) 的判斷方法和標準：

一、核心檢測指標與(yu) 方法

均流性能的核心是氣流在送風口下方形成穩定、均勻的氣流場，避免局部風速過高、過低或湍流，從(cong) 而保證潔淨室的潔淨度和工藝穩定性。具體(ti) 檢測方法如下：

1. 風速均勻性檢測

檢測工具：高精度熱球風速儀(yi) （精度≥±0.05m/s）、風速巡檢儀(yi) 。

檢測方法：

在送風口正下方一定距離（通常為(wei) 300mm、600mm 或根據潔淨室工藝要求設定）的平麵上，按照網格法布置測點（如 5×5 或 7×7 網格，間距≤300mm）。

逐點測量風速，記錄數據並計算風速偏差率：
風速偏差率 =（某點風速 - 平均風速）/ 平均風速 × 100%

達標標準：
各測點風速偏差率應≤±15%（嚴(yan) 格潔淨室如 A 級、B 級要求≤±10%），且平均風速需符合設計值（通常潔淨室送風口風速為(wei) 0.3~0.5m/s，具體(ti) 按工藝要求）。

2. 氣流流型觀察

檢測工具：煙霧發生器（如發煙筆、氣溶膠發生器）、高速攝像機（可選）。

檢測方法：
在送風口下方釋放煙霧，觀察氣流是否呈層流或均勻擴散狀態，無明顯渦流、死角或偏流。

達標標準：
煙霧擴散均勻，無局部聚集或快速沉降，氣流方向與(yu) 設計一致（如垂直單向流、水平單向流），且能覆蓋送風口對應的潔淨區域。

3. 壓力與(yu) 風量檢測

檢測工具：差壓計（精度≥±2Pa）、風量罩。

檢測方法：

測量送風口與(yu) 相鄰區域的靜壓差（確保送風口出風壓力穩定，避免因壓力波動導致氣流紊亂(luan) ）。

用風量罩測量送風口總風量，與(yu) 設計風量對比，偏差應≤±10%。

關(guan) 聯邏輯：
風量不穩定或壓力波動會(hui) 直接影響均流性能，需先確保風量和壓力達標，再判斷氣流均勻性。

二、長期運行中的性能驗證

除了首次安裝後的檢測，還需通過長期運行觀察判斷均流性能是否持續達標：

潔淨度監測
定期檢測送風口覆蓋區域的懸浮粒子濃度（如 ISO 5 級潔淨室要求≥0.5μm 粒子≤3520 個(ge) /m）。若局部區域粒子濃度異常升高，可能是均流性能下降（如局部風速不足導致汙染物沉積）。

溫濕度均勻性
均流性能差會(hui) 導致局部溫濕度偏差過大。通過多點溫濕度計測量，若送風口下方區域溫濕度偏差超過設計值（如 ±1℃、±5% RH），可能與(yu) 氣流分布不均相關(guan) 。

均流膜狀態檢查
均流膜的破損、變形、積塵會(hui) 直接破壞均流性能：

目視檢查均流膜是否平整，有無褶皺、撕裂或孔洞；

檢查膜表麵是否積塵過多（可通過壓差變化輔助判斷：當均流膜前後壓差超過初始值的 50% 時，可能因堵塞導致氣流分布不均）。

三、參考標準與(yu) 規範

判斷均流性能需符合行業(ye) 標準，常見依據包括：

GB 50591-2010《潔淨室施工及驗收規範》：明確要求送風口氣流速度均勻，偏差不超過規定範圍；

ISO 14644-3《潔淨室及相關(guan) 受控環境 第 3 部分：檢測方法》：規定了氣流可視化和風速測量的標準流程；

設備廠商提供的技術參數：如均流膜的設計風速範圍、推薦的維護周期等。

總結

判斷均流膜高效送風口的均流性能是否達標，需通過風速均勻性檢測（偏差率≤±15%）、氣流流型觀察（無渦流 / 偏流）、風量與(yu) 壓力穩定性三大核心手段，結合長期運行中的潔淨度、溫濕度數據及均流膜狀態綜合評估。若檢測結果符合設計要求和行業(ye) 標準，且運行中無局部汙染或工藝異常，則可判定均流性能達標。