潔淨棚日常維護還需要注意哪些細節?
在潔淨棚的日常維護中,除了基礎的組件保養(yang) 和係統管理外,還有許多容易被忽視的細節,這些細節對維持潔淨度、設備穩定性及人員操作規範至關(guan) 重要。以下從(cong) 環境控製、人員操作、特殊場景等維度補充關(guan) 鍵細節:
一、潔淨棚內(nei) 微環境細節管理
氣流組織優(you) 化
定期檢查高效過濾器出風口的勻流膜(擴散板)是否積塵或堵塞,用無塵布蘸酒精擦拭表麵,避免氣流不均導致局部潔淨度下降。
嚴(yan) 禁在潔淨棚內(nei) 堆放雜物(如工具、耗材),保持工作區下方離地麵至少 50cm 的空間,防止阻擋回風口氣流。
溫濕度精細控製
注意加濕器水箱的清潔(每周用 3% 過氧化氫溶液浸泡 30 分鍾,防止微生物滋生),若為(wei) 電極式加濕器,每季度更換電極棒以避免結垢影響加濕效率。
當溫濕度波動超過設定值(如溫度 ±1℃、濕度 ±3% RH)時,需檢查空調機組表冷器是否結垢、加濕器噴口是否堵塞。
靜電控製細節
每日用靜電測試儀(yi) 檢測工作台麵、地麵的靜電值(目標值≤10^9Ω),若超標需檢查接地線是否鬆動(接地電阻應≤1Ω),或更換防靜電台墊。
禁止在潔淨棚內(nei) 使用化纖材質的物品(如抹布、文件袋),所有工具需選用防靜電版本(如防靜電鑷子、螺絲(si) 刀)。
二、人員操作規範與(yu) 細節
進出流程細化
風淋室使用時,需確保噴嘴出風口風速≥25m/s(可定期用風速儀(yi) 檢測),人員在風淋室內(nei) 應轉動身體(ti) 360°,吹淋時間不足時嚴(yan) 禁強行開門。
傳(chuan) 遞窗兩(liang) 側(ce) 門需互鎖(若為(wei) 手動門,需張貼 “禁止同時開啟” 標識),傳(chuan) 遞物品時需先關(guan) 閉外側(ce) 門,經紫外燈照射 30 分鍾後(如設定)再開啟內(nei) 側(ce) 門。
作業(ye) 行為(wei) 管控
操作人員在潔淨棚內(nei) 動作需輕柔,避免快速走動或揮手(實驗數據表明,快速動作可使塵埃粒子數瞬間增加 30%),必要時使用無塵簾隔離操作區。
禁止在潔淨棚內(nei) 飲水、飲食或使用化妝品,防止微塵與(yu) 微生物汙染,臨(lin) 時離開後重新進入需再次更衣、風淋。
三、特殊組件與(yu) 耗材維護細節
FFU(風機過濾單元)維護
每月通過 FFU 控製麵板查看風機轉速是否穩定(允許 ±5% 波動),若轉速異常降低,可能是過濾器阻力過大或電機軸承磨損,需及時排查。
對於(yu) 吊頂式 FFU,每季度檢查吊裝螺栓是否鬆動(尤其在頻繁啟停後),防止設備墜落風險,同時清理 FFU 頂部與(yu) 天花板之間的積塵。
高效過濾器密封細節
更換高效過濾器後,需用熒光檢漏儀(yi) 檢測邊框密封膠是否有漏點(在暗環境下觀察,漏光處需補塗密封膠),或用氣溶膠發生器配合粒子計數器掃描邊緣,確保泄漏率≤0.01%。
地漏與(yu) 排水係統
潔淨棚內(nei) 若設有地漏,需每日檢查水封是否有效(水封高度≥50mm),每周倒入消毒水(如次氯酸鈉溶液)防止異味與(yu) 微生物滋生,蓋板需保持密封狀態。
四、環境監測與(yu) 記錄細節
監測設備校準與(yu) 擺放
塵埃粒子計數器的采樣口需固定在工作區高度(距地麵 0.8-1.2m),避免貼近牆麵或設備,采樣時保持采樣管垂直,防止氣流幹擾數據。
所有監測儀(yi) 器(如壓差表、溫濕度計)需貼有校準標簽,校準周期不超過 1 年,若發現數據異常(如壓差表指針抖動),需立即用標準表比對。
數據記錄與(yu) 趨勢分析
維護台賬需記錄每日 3 次(早、中、晚)的關(guan) 鍵參數(如風速、壓差、粒子數),並用折線圖繪製趨勢,若連續 3 天數據呈上升趨勢(如粒子數增加 20%),需提前安排過濾器檢查。
特別注意節假日或長期停機後的重啟數據,開機後需運行 30 分鍾以上再檢測潔淨度,避免初始氣流不穩定導致誤判。
五、應急與(yu) 特殊場景處理細節
突發汙染應對
若發生液體(ti) 泄漏(如試劑、溶劑),需立即用無塵吸附棉覆蓋吸附,再用 75% 酒精或專(zhuan) 用消毒劑(如季銨鹽類)擦拭地麵及周邊區域,汙染麵積超過 1㎡時需記錄並追蹤後續潔淨度變化。
發現微生物超標(如浮遊菌>100CFU/m³),需使用汽化過氧化氫發生器進行空間滅菌(濃度≥600ppm,作用時間≥2 小時),滅菌後需通風 4 小時以上再進入。
停機與(yu) 重啟管理
短期停機(<24 小時)時,風機需保持低速運行(維持微正壓),避免外界灰塵倒灌;長期停機(>72 小時)前,需徹底清潔內(nei) 部並關(guan) 閉所有風門,重啟時需先更換初、中效過濾器。
六、行業(ye) 特殊要求細節
醫藥行業(ye) :潔淨棚內(nei) 使用的消毒劑需交替使用(如酒精與(yu) 碘伏每月輪換),避免微生物產(chan) 生耐藥性;稱量間需額外檢查層流罩的垂直風速(應維持 0.36-0.54m/s)。
半導體(ti) 行業(ye) :禁止使用含矽(Si)的清潔劑,防止矽氧烷揮發汙染晶圓;維護工具需經離子風槍吹淋後再帶入,避免靜電吸附微塵。
七、供應商與(yu) 第三方協作細節
與(yu) 過濾器供應商簽訂年度維護協議,要求提供過濾器阻力 - 使用時間的預測模型,提前備貨易損件(如初效過濾器季度用量的 1.5 倍)。
每年邀請第三方檢測機構進行動態潔淨度認證(如 ISO 14644-1 檢測),檢測報告需歸檔保存,作為(wei) 合規性審核依據。
通過關(guan) 注上述細節,可將潔淨棚的維護從(cong) “被動維修” 轉為(wei) “主動預防”,尤其在半導體(ti) 、醫藥等高要求領域,細節管理直接影響產(chan) 品良率與(yu) 合規性。建議製定《潔淨棚維護 checklist》,將細節要點轉化為(wei) 可執行的檢查項,確保維護工作無遺漏。