有什麽方法來提高潔淨室能源利用率

      有什麽(me) 方法來提高潔淨室能源利用率

      或許潔淨室過度建設和過高標準的現狀即將成為(wei) 過去，至少，目前Lawren Berkeley Labs能源項目的研究員及經理Tengfang（Tim）Xu有辦法改變現狀。“理論上講，氣流速度每提高10%，風扇的能耗將增加30%。如果將各種設備等比例縮減到足夠維持汙染控製的低能耗，將節省大量的能源。”作為(wei) 環境科學與(yu) 技術學院（IEST）“走近專(zhuan) 家”係列課程的一部分，Xu近通過網絡開設了“潔淨室設計與(yu) 運營的可持續發展問題”。課程針對潔淨室和微環境（ME）的規劃、設計、建設、運營直到退出，從(cong) 可持續發展角度提出了一些列建議和指導方針。   

      生產(chan) 設備通常消耗整個(ge) 潔淨室1/3的能量，冷卻和泵浦係統再消耗20%，空氣循環係統消耗另外的20~30%。剩餘(yu) 的部分用於(yu) 支持去離子水和其它生產(chan) 用水的水泵、排氣扇、氮氣生成設備及其它輔助設備。潔淨室不同區域實際空氣流速和氣體(ti) 交換率可以存在很大差別，有些區域要求單向氣流，而其它區域則不然。   

      Xu給出了一些實際的例子：幾乎一半潔淨等級為(wei) 4級的潔淨室還有一部分潔淨等級為(wei) 3級的ME都存在標準過高的問題，主要表現在當前工業(ye) 準則中 ME的推薦氣體(ti) 流速和壓強差。對風險的恐懼和過於(yu) 保守的設計思想是造成這種標準過高的原因。常見的想法就是既然某種方案從(cong) 前可以工作，為(wei) 什麽(me) 還要去改變呢？Xu提出在潔淨室規劃階段采用分級收集信息的方法，這樣可以對計劃的決(jue) 策提供指導，並把能源消耗作為(wei) 一項重要的參數考慮進去。同時，針對某些特定係統，Xu給出了一些建議方法（表），這些方法已被更新到IEST-RP-CC012.2中。他說：“更好地利用能源，會(hui) 改善環境質量。對於(yu) 潔淨室來說，從(cong) 一個(ge) 產(chan) 業(ye) 的角度考慮，能源利用率、設備穩定性、生產(chan) 效率以及未來的指導方針都會(hui) 對現行方法產(chan) 生很大影響。”    

      同時，Xu還鼓勵讓整個(ge) 流程中的人員參與(yu) 決(jue) 策，共同確定諸如：係統的規模（工藝、機械以及電氣相關(guan) 人員），低氣壓壓力損失（機械和結構設計人員），和設定具有實際意義(yi) 的氣體(ti) 流速要求（機械和控製人員）。    

      在另一個(ge) 實際例子中：Xu選擇了12種不同型號4×2英尺的風扇，通過比較其能源利用率，發現不同型號之間存在很大差別，有些甚至不能在要求的工作區間內(nei) 正常工作。對於(yu) HVAC空氣係統，需要考慮的測試項目包括：低氣壓壓力損失、適當的空氣循環係統、空氣交換率、用量控製過濾、風扇效率、風扇過濾單元以及排氣係統優(you) 化。Xu指出，通過優(you) 化ME和潔淨室的空氣流，在保持對顆粒有效過濾的情況下，能量消耗可以降低10~85%。 

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