幹貨丨高效空氣過濾器安裝後的檢漏

高效空氣過濾器安裝後的檢漏方法有光度計法和粒子計數器法。

光度計法一般用於(yu) 帶小型空氣處理係統的潔淨室或安裝有氣溶膠注入點的管路係統，可達到規定的高濃度測試氣溶膠。由於(yu) 粒子計數器法的靈敏性好和汙染少，一般都采用粒子計數器法進行高效空氣過濾器安裝後的檢漏。

采用光度計法進行掃描檢漏時，被測試的過濾器的最高穿透粒徑的穿透率等於(yu) 或大於(yu) 0.005%。所采用的測試氣溶膠不應對潔淨室（區）內(nei) 的產(chan) 品或工藝設施帶來影響。

在進行光度計法檢漏前，被測試過濾器應在額定風速的80%至120%與(yu) 之間運行，並確認其送風的均勻性。

被測試過濾器的上風向引入的氣溶膠的濃度應為(wei) 20mg/m³至80mg/m³。濃度低於(yu) 20mg/m³時，將會(hui) 降低檢漏的靈敏度，而濃度高於(yu) 80mg/m時，若長時間測試會(hui) 造成過濾器的汙堵。在過濾器檢漏前應確認氣溶膠的濃度和均勻性。

檢漏掃描時，若采用3cm×3cm方形探管，掃描速度不得超過5cm/s矩形探管的最大麵積掃描率不得超過15cm²/s。在掃描過程中，若顯示有等於(yu) 或大於(yu) 限值的泄漏時，則應將探管停留在泄漏處。高效空氣過濾器的泄漏限值是指超過上風向測試氣溶膠濃度10^-4的泄漏，或與(yu) 業(ye) 主協商確定。

采用粒子計數器法進行掃描檢漏時，被測試的空氣過濾器最高穿透粒徑的穿透率大於(yu) 或等於(yu) 0.00005%。不允許采用可能沉積在過濾器或管道上的揮發性油光塵的測試用氣溶膠。

在進行粒子計數器檢漏前，被測試過濾器應在額定風速的70%至130%之間運行，並確認其送風的均勻性。

檢漏掃描時，采樣口距離被測部位應小於(yu) 5.0cm，以0.05m/s的速度移動。空氣高效過濾器下風側(ce) 測試得到的泄漏濃度換算的透過率，不得大於(yu) 該過濾器出廠合格透過率的3倍。

安裝在管道或空氣處理機內(nei) 的高效空氣過濾器的檢漏，檢測可采用光度計法或粒子計數器法。用於(yu) 安裝在管道或空氣處理機內(nei) 的最易穿透粒徑的穿透率大於(yu) 0.005%的高效空氣過濾器的檢漏。

檢漏時，被檢測過濾器就在設計風速的70%~130%之間運行，並確認其送風均勻性。上風向引入的大氣塵或氣溶膠濃度應能滿足在下風向測試得到具有統計意義(yi) 的讀數。

測試時，應將采樣口距離被測部位30cm至100cm處，在管道中應距管壁2.5cm，記錄實測的含塵濃度。

高效空氣過濾器檢漏的限值，采用光度計法時，不得超過10^-4（0.01%）;采用粒子計數器法時，不得大於(yu) 出廠合格透過率的3倍。